微机电系统用电铸镍铁合金的制备及其电磁性能

摘要：

研究了电铸镍铁合金制备过程中工艺条件对电铸层成分的影响,获得含铁质量分数20%电铸层的最佳工艺条件为镀液硫酸亚铁含量6 g/L、pH值2.5、温度55℃、电流密度3.5 A/dm2;讨论了镀层形貌及电磁性能的变化关系.结果表明:制备的镀层表面光亮、结构致密,晶面为(111)、(220)、(200).该铸镍铁合金矫顽力最小为2.95×10-2 A/m,表现出较强的顺磁性.剩磁力随着铸层铁含量的增大呈下降趋势,饱和磁化强度为IJ85合金的10%,具有优良的电磁性能.可以用于制造微型磁执行器与传感器元件.

关键词：电铸、镍铁合金、电磁性能、微机电系统

所属期刊栏目：31

分类号：TG139.8(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金50375073

在线出版日期：2007-04-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-36