PIII方法制备的TiN膜的性能

摘要：

用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PIII),在Cr12MoV钢基体上制备了TiN膜,经XPS分析发现,膜中的组织为TiN、TiO2和Ti2O3.对有与无TiN膜的Cr12MoV钢试样进行对比,测定了维氏硬度,耐磨性以及磨痕.结果表明:TiN膜具有高的硬度和优良的抗摩擦性能.

关键词：等离子体浸没式离子注入、TiN膜、显微硬度、摩擦性能

所属期刊栏目：28

分类号：TG156.8(金属学与热处理)

资助基金：中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室基金100027

在线出版日期：2004-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：19-21