硅烷化单晶硅表面自组装ZrO2薄膜及其摩擦学性能研究

摘要：

利用自组装成膜技术在磺酸化的MPTS自组装单层薄膜表面制备了ZrO2薄膜,应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的组成和结构.结果表明:该ZrO2薄膜比较致密、无裂缝,呈"准二维"特征,且与基底的牢固性好.摩擦磨损试验表明:ZrO2薄膜经500℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.

关键词：自组装单层薄膜、氧化锆薄膜、摩擦学性能

所属期刊栏目：28

分类号：O647(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金50375151,50272068;国家高技术研究发展计划863计划2002AA423230,2002AA302609

在线出版日期：2004-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44