氧化对CVD自支撑金刚石膜力学性能的影响

摘要：

研究了CVD金刚石膜氧化行为与断裂强度的关系.试验结果表明:CVD金刚石膜随着高温氧化时间延长,其断裂强度不断下降;同样,随氧化温度的增高,断裂强度急剧降低.但在780℃氧化20min以内,或在810℃氧化10min以内,对金刚石膜的强度没有明显的影响.晶界的优先氧化所造成材料连续性的降低是高温下导致金刚石膜强度降低的主要原因.

关键词：CVD金刚石膜、氧化、断裂强度

所属期刊栏目：28

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-715-Z38-03

在线出版日期：2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-36,50