DLC多层膜对1Cr1 8Ni9Ti钢微动磨损性能的影响

摘要：

用非平衡磁控溅射与等离子体源离子注入(PSII)的混合技术,研究了类金刚石碳(DLC)多层膜对1Cr18Ni9Ti钢微动磨损性能的影响.结果表明:注入N后,改性层内形成了CrN和Fe3N等氮化物相;PSII技术能够提高1Cr18Ni9Ti钢基体的微动磨损性能;试验所制备的DLC多层膜比N注入层具有更好的微动磨损性能.

关键词：微动磨损、等离子体源离子注入、多层膜、1Cr18Ni9Ti不锈钢

所属期刊栏目：26

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：国防科工委预研项目98JS61.5.1. JWO304

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14