亚微米铜薄膜界面结合强度的测定

摘要：

基于薄膜/基体界面结合强度对膜基体系的使用效果有直接影响,采用压痕法测定了1Cr18Ni9Ti钢基材表面物理气相沉积铜薄膜的界面结合强度,并通过分析界面处的受力情况,建立相应的数学模型计算出界面结合力.

关键词：压痕法、界面结合强度、铜薄膜

所属期刊栏目：26

分类号：TG115.5(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59971030

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-34