期刊专题

10.3969/j.issn.1000-3738.2001.11.011

Ti/Me多元复合靶真空电弧沉积的研究

引用
用Ti/Mo、Ti/W、Ti/FM复合靶和真空电弧沉积技术制备了三种多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明,多元复合靶与多元膜层之间存在着成分离析效应,组元Mo、W和Fe具有负的成分离析,而组元Cr和A1与靶材的成分相当.多元膜层致密,其结构形式为(Ti,Me)2N和(Ti,Me)N.测试表明按多元多层膜设计的膜层Ti/TixN/(TiyMe1-y)N/(Ti,Me)xN具有较高硬度和耐磨性能,经600℃×100h的氧化,多元多层膜有良好的抗氧化性能,其中以含W的膜层的抗氧化性能最佳.

多元多层膜、真空电弧沉积、组织与性能

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TG174.44(金属学与热处理)

广东省高教厅科研项目970032;国家重点实验室基金

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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机械工程材料

1000-3738

31-1336/TB

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2001,25(11)

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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”

国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
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