力学薄膜的多层化强化

摘要：

采用多层膜系是进一步提高诸如TiN等力学薄膜性能的有效方法之一.综述了有关方面的研究情况.目前已经投入应用的各种氮化物薄膜是最简单的多层膜的原型,其内设的过渡层可改善膜/基附着力;多层膜性能与组层结构有关,适当的层间厚度(调制周期)可显著提高多层膜的力学性能,适当的亚层组合可获得同时兼具高硬度和良好韧性的力学薄膜.

关键词：多层膜、过渡层、力学薄膜、薄膜力学性能

所属期刊栏目：25

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-14,33