微型机械材料的残余应力测量

摘要：

硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料，它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命，而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点，可供微机电系统的设计和制造者参考。

关键词：微型机械、力学特性、残余应力

所属期刊栏目：25

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金59305046;国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32