制备高纯石英砂的方法

摘要：

@@ 石英砂是制备多晶硅和单晶硅的基本原料,应用于半导体技术、太阳能、航天等高科技领域.石英砂的纯度租元素含量直接影响着所制备产品的好坏.传统石英砂的制备工艺为:粗选→破碎→焙烧→水碎→粉碎→除铁→酸浸泡→浮选等工序,最后制成80～100目的产品.这种生产和提纯工艺较简单,不能有效去除石英的包裹杂质、表面杂质以及生产过程中存在的杂质,使得纯度不高,特别是内部对多晶硅有很大影响的硼和磷等,去除效果更差.

机标关键词：制备工艺、高纯石英砂、表面杂质、多晶硅、半导体技术、直接影响、元素含量、提纯工艺、生产过程、去除效果、科技领域、基本原料、纯度、产品、太阳能、单晶硅、水碎、破碎、浸泡、航天

所属期刊栏目：16

分类号：TQ1;TD9

在线出版日期：2009-12-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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