(Ti,Al)N/Ti2AlN涂层的制备

摘要：

利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上沉积了Ti-Al-N涂层,研究了沉积工艺参数对沉积态涂层的成分及相组成的影响,以及在不同退火处理条件下各涂层组织的变化.XRD结果表明,通过改变沉积工艺参数可以控制沉积态涂层的成分,使涂层经退火后生成Ti2AlN相.适当成分的沉积态涂层退火生成Ti2AlN相所需的最低退火温度为650℃,其它沉积态涂层在700℃或更高温度下退火才能生成Ti2AlN相;退火过程中可能发生的化学反应为:AlTi3N+5Al→TiN+2Al3Ti和AlTi3N+3Al→Ti2AlN+Al3Ti.此外,延长退火时间可使相同工艺下的沉积涂层生成的Ti2AlN相含量略有增加.利用SEM对涂层进行了分析,测量了涂层的摩擦系数.

关键词：电弧离子镀、Ti2AlN涂层、高温退火、摩擦系数

所属期刊栏目：46

分类号：TG172(金属学与热处理)

在线出版日期：2010-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：743-747