Cr离子高温注入Al靶的传质模型

摘要：

利用注入离子在固体中传输理论和辐照增强扩散理论建立了金属离子高温注入金属Al靶的传质模型,计算了金属离子高温注入的浓度-深度分布.在所建立的传质模型中采用动态Monte Carlo方法模拟离子注入过程,引入饱和浓度限模拟晶体靶局部饱和现象;采用基于辐照增强扩散的扩散方程描述注入粒子扩散过程;根据缺陷线性退火理论确定辐照增强扩散系数;结合杂质原子和非平衡空位扩散方程给出了注入粒子的浓度分布;在扩散方程中引入了空位源函数并考虑了离子溅射造成的表面退让效应.针对离子能量140 keV,注入剂量2×1017cm-2,温度250,400和510℃的Cr离子注入Al靶计算得到的浓度-深度分布与实验结果相符.

关键词：高温离子注入、Monte Carlo模拟、扩散

所属期刊栏目：40

分类号：TB115(工程基础科学)

资助基金：高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划

在线出版日期：2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：629-633