探讨溶胶-凝胶工艺制备PZT薄膜

摘要：

介绍溶胶-凝胶法制备PZT铁电薄膜的工艺过程,探讨影响稳定溶胶配制的原材料、溶剂及溶液的pH值选取.分析催化剂和添加剂在提高薄膜质量方面的作用机理,理论上阐述了基片和PbTiO3过渡层对促进PZT薄膜晶化的影响.提出优化溶胶-凝胶技术的

关键词：溶胶-凝胶、PZT、铁电薄膜

所属期刊栏目：23

分类号：TB34(工程材料学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：83-87,94