基于稳健回归的 AFM 图像水平矫正算法

摘要：

AFM（ Atomic Force Microscope ，原子力显微镜）图像经常会出现背景倾斜或弯曲。背景倾斜的原因源于探针和样本表面的倾角或XYZ扫描仪带来的弯曲。本文将稳健的MM估计算法应用到AFM图像二维背景拟合中，消除背景的倾斜，并利用fast-s估计算法作为初始化，以缩短计算时间。实验结果表明，与传统方法相比，本方法的AFM图像水平矫正效果更好。

关键词：AFM图像水平矫正、稳健回归、MM估计、fast-s估计

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2014-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：88-93