基于PXI平台的MEMS电场传感器自动测试系统的设计

摘要：

针对MEMS电场传感器的传统测试系统复杂、测试效率低和兼容性差等问题,设计了一种新型电场传感器自动测试系统.该系统基于高度集成的NI PXI平台,采用LabVIEW图形化编程语言,构成了传感器自动测试系统虚拟仪器框架.系统采用集散控制理念,将控制器与操作站分离,实现了对标准电场发生装置的控制、传感器微弱信号的采集与处理、数据的分析与存储等;并且基于数字化相关解调技术,实现了电场传感器对直流电场和交流电场的高精度标定测试.通过实验验证了测试系统工作的稳定,传感器的测试精度小于1％.

关键词：PXI、MEMS、电场传感器、LabVIEW

所属期刊栏目：44

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：山西农业大学科技创新基金项目2015YJ09

在线出版日期：2018-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：570-572