一种基于梯度信息的SEM图像重建方法

摘要：

针对集成电路制造过程中由扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)产生的灰度图像二值化问题,提出一种利用图像边缘的梯度信息、通过统计重建SEM图像的方法.用Otsu方法分析SEM图像的噪声组成,通过滤波去噪过程,用Kirsch算子分析图像的梯度信息,再利用图像外边缘的梯度大于内边缘的梯度的特性,对每一个区域进行分类统计,根据统计信息进行最后的图像填充.实验结果表明,该算法在高分辨率的图像下显示出了高稳定性和高度自动化;在低分辨率的图像下,该方法有效避免了边缘提取失败带来的影响,能正确、完整地重建图像.

关键词：SEM图像、梯度信息、Kirsch算子、统计、二值化

所属期刊栏目：43

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金:面向28-14nm的高空间分辨率工艺偏差在线检测关键技术研究61204111

在线出版日期：2016-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：297-301