二维位置敏感器件(PSD)的畸变校正算法研究

摘要：

光电位置敏感探测器(PSD)是对信号光的位置直接检测的光电传感器,它的原理是计算光的权重来测量光的位置,直接输出的是模拟电流信号.但PSD的非线性严重影响着其应用的准确性.由于四边电极的影响,会使靠近边缘附近产生严重的非线性.就如何时PSD进行畸变校正进行了研究.通过对插值算法的研究,提出了用双调和样条插值算法来校正PSD产生畸变的离散点.通过仿真分析,校正后的均方误差能达到2.29μm.与神经网络方法相比,该方法有了较大的提高,效果令人满意.

关键词：PSD、位置检测、畸变校正、双调和插值

所属期刊栏目：40

分类号：TN15(真空电子技术)

资助基金：航空科学基金20105113002

在线出版日期：2014-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：150-152,177