基于改进粒子群算法的晶圆良率优化

摘要：

晶圆良率是衡量晶圆产品质量的重要指标,实现其稳定优化能够有效控制生产成本.针对晶圆良率影响因素众多、数据量庞大等特点,以晶圆允收测试为依据,设计了基于改进粒子群算法的晶圆良率优化方法.该方法在晶圆允收测试数据预处理与关键参数提取基础上,建立评价粒子适应度的晶圆良率预测模型,设计迭代自适应的粒子群惯性因子与加速因子,以及基于模拟退火的局部搜索机制,实现最小调整成本下的晶圆良率最大化目标.在某晶圆制造车间算例实验中,通过对比分析验证了所提方法的有效性.

关键词：晶圆良率优化、粒子群算法、晶圆允收测试、预测模型、局部搜索

所属期刊栏目：29

分类号：TH166

资助基金：国家自然科学基金;上海市青年科技英才扬帆计划资助项目

在线出版日期：2023-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1165-1173