基于工业大数据的晶圆制造系统加工周期预测方法

摘要：

加工周期是晶圆制造系统的关键指标,对于进行准确的预测分析有助于帮助制定有效的调度排产计划.利用晶圆智能制造系统的工业大数据提取出有效信息,提出了基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法框架;针对生产线状态会随时间推移动态变化、生产数据生命周期的问题,设计了预测模型的动态更新机制;考虑到生产线数据记录不准确的情况,比较了多种回归算法,以实例验证了所提方法的有效性.

关键词：晶圆制造系统、工业大数据、数据驱动、加工周期、数据生命周期、预测回归

所属期刊栏目：23

分类号：TP301;TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金重大资助项目71690234.Project supported by the National Natural Science Foundation,China71690234

在线出版日期：2017-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2172-2179