面向半导体制造的大数据分析平台

摘要：

为充分利用半导体制造过程产生的大量数据,发掘数据中蕴含的价值,对半导体制造过程进行分析、预测和调控,建立了半导体制造大数据分析平台.归纳得出了半导体制造过程中大数据的特性,提出了半导体制造大数据分析体系架构,分析了其关键技术和实现方法.根据半导体制造过程中大数据的使用特点,将数据导入、去重、筛选、标准化等共性操作归入平台通用预处理层;预处理后的数据进入数据仓库层,在数据仓库中按主题进行组织;最上方的专用处理算法层根据上层应用的特定数据要求,从数据仓库中抽取数据,使用专用算法进行处理,为其提供标准化、可靠、可复用的数据资源.最后基于半导体制造企业的实际情况搭建了原型系统,对半导体制造过程产生的大量实际数据进行导入、存储、组织和预处理,并进行了性能测试和常用统计分析算法测试.

关键词：大数据、制造过程数据、半导体制造、分布式处理、Hadoop

所属期刊栏目：22

分类号：TP319(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51435009,51275307.Project supported by the National Natural Science Foundation,China51435009,51275307

在线出版日期：2017-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：2900-2910