基于采样定理的自光干涉SEST算法研究

摘要：

研究了基于采样定理的白光干涉测量算法--Square-envelop function Estimation by Sampling Theory(SEST)算法,该算法采样间隔是传统算法的数倍,最大可达1.425 μm,大大提高了测量速度.在该算法基础上,提出应用循环缓冲器来定位相干区间,减少了存储的采样值及计算量,提高了数据处理速度.仿真结果表明,该算法是快速、有效的.

关键词：光学测量、SEST算法、白光干涉、表面形貌

所属期刊栏目：44

分类号：TP274;TN247(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716207;国家自然科学基金50405033;国家高技术研究发展计划863计划20060104Z3055

在线出版日期：2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：79-81