半导体生产线建模及其仿真若干关键技术研究--基于Simul8建模仿真软件

摘要：

为满足半导体生产线建模与仿真在仿真性能、仿真真实性等方面的较高要求,基于Simul8复杂系统仿真软件对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类的思想,探讨了各自基于Simul8的实现方法,同时分析并有效解决了工序加工时间和运输时间的统计计算问题.仿真应用表明,提出的方法在增强半导体生产线仿真真实性的同时,也有效改进了仿真的性能.

关键词：建模、仿真、二级缓冲区、Simul8

所属期刊栏目：42

分类号：TP311.52(计算技术、计算机技术)

资助基金：科技部科研项目2002CB312202;中国科学院资助项目60374005

在线出版日期：2006-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：187-189,197