IC芯片管脚缺陷在线视觉检测系统研究

摘要：

利用图象顺序形态学以及基于知识的阈值选择算法对IC图象进行预处理,具有运算量小、速度快和有效的特点.检测过程采用Blob分析,引入质量控制图方法分析系统误差对系统稳定性的影响,计算了检测系统的工序能力.系统检测精度高,实时性好,满足在线检测的要求.

关键词：IC芯片缺陷、计算机视觉、顺序形态学、Blob分析、质量控制图

所属期刊栏目：38

分类号：TP391.41(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金69974031

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：232-235