嵌套式稀疏网格随机配置法及其在随机门延时建模中的应用

摘要：

为了提高随机工艺偏差下门延时建模的计算精度和效率,提出一种基于扩展Gauss积分理论及嵌套式稀疏网格技术的随机配置门延时建模方法.首先采用参数空间中具有指数收敛特性的随机正交多项式对随机门延时进行逼近;然后针对现有的基于传统Gauss积分理论的稀疏网格随机配置法所用的配置点不具有嵌套特性的问题,利用单变量扩展Gauss积分理论及稀疏网格技术构造了一组嵌套式多变量Gauss积分点,将其作为随机门延时建模的配置点.这组配置点既具有Gauss积分点的高精度,又满足嵌套性质,且在低阶积分配置点上已经得到的门延时可以在高阶积分时重复使用.与现有的基于非嵌套式配置点的随机配置法相比,该方法的计算精度和效率可以得到很大的提升,数值实验结果也验证了该方法在计算精度和效率上的优势.

关键词：门延时、工艺偏差、扩展Gauss积分、嵌套式稀疏网格、随机配置法

所属期刊栏目：22

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金60976034,60676018,60806013,60673029;国家十一五重大科技专项项目2008ZX01035-001-06,2009ZX02023-4-3;国家重点基础研究发展计划项目2005CB321701;教育部高等学校博士学科点专项科研基金200802460068;上海市领军人才项目上海市科学技术委员会国际科技合作基金项目08510700100

在线出版日期：2010-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：165-172