考虑性能优化的冗余金属填充算法

摘要：

冗余金属填充改善了化学机械抛光对于金属和介质表面平坦化的均匀性,却大大地影响了互连线性能.提出一种性能优化的冗余金属填充算法,可减少对关键线网的时延影响.该算法利用扫描线算法找到填充区域,根据线网关键度将填充区域分类,按照优先级对填充数量进行分配,对每个填充区域采用解析式沙漏模型进行冗余金属插入.实验结果表明,该算法在减少冗余金属填充对关键线网的时延影响方面比传统的填充算法平均减少15%.

关键词：VLSI、化学机械抛光、冗余金属填充、性能优化、关键线网

所属期刊栏目：20

分类号：TP302(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金60776026

在线出版日期：2008-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：724-729