三维互连电容提取中复杂形体的通用处理方法

摘要：

介绍一种在三维互连电容提取中处理复杂形体结构的通用方法.该方法将复杂形体结构用多个简单形体结构描述,简单形体结构之间允许包含或重叠;通过形体运算构造出原复杂形体结构.该方法和相应的算法已在基于边界元素法的三维互连寄生电容提取软件QBEM中实现.数值计算结果表明,文中方法可靠,适用于各种复杂形体结构并有很高的效率.

关键词：VLSI、寄生电容、边界元素法、扫描线算法、图遍历算法、高度平衡树

所属期刊栏目：16

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2004AA1Z1050

在线出版日期：2005-01-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1625-1630