3D互连电容快速提取的新途径——介质积木库法

摘要：

引入介质积木的概念,可方便地对三维互连结构作预处理以形成介质积木库,从而提高电容提取速度 .介质积木库法只需借助工艺描述文件,即可处理包括保形介质和非正交互连等复杂结构 .数值计算表明:基于介质积木库的电容提取算法在同等精度下比SpiceLink算法快30倍以上.

关键词：寄生电容、直接边界元法、介质积木

所属期刊栏目：16

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1998030404;国家高技术研究发展计划863计划2002AA1Z1460SOC

在线出版日期：2004-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：343-347