二维互连电感电阻的电路模型法提取

摘要：

介绍一个基于电路模型法的二维电感、电阻提取器的原理及实现方法.对衬底采用局部加密的电流细丝划分方法减少了未知量的个数、提高了计算速度,并利用高斯积分解决两电流细丝之间出现的三种奇异电感积分计算.该提取器具有很好的计算精度,能准确反映电阻与电感随频率的变化趋势.

关键词：二维互连电感电阻、电路模型法、电流细丝、衬底局部加密

所属期刊栏目：15

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金69876024;SOC国际合作基金60121120706

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：102-106