10.3321/j.issn:1003-9775.2000.12.002
集成电路矩形互连线二维电容及随频率变化电感的联合计算方法
提出一种电容电感联合算法,可计算全频率范围内随频率变化的电感,同时得到电容矩阵.该算法利用电路模型法得到低频下若干频率的电感值;利用边界元法得到电容矩阵,并对电容矩阵求逆得到电流完全分布在导体表面时的电感值,由集肤深度得到该电感值对应的频率.对上述离散频率的电感值利用三次样条函数插值,得到整个频率范围内电感的变化曲线.算法避免了求解Helmholtz方程,极大地简化了算法.数值结果表明,该算法是可行的.
二维、寄生、电感、电容、全频率范围、IC
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TN4(微电子学、集成电路(IC))
国家重点基础研究发展计划973计划G1998030404;中国科学院资助项目69876024
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
887-890