时间滤波器在工件台设定值滤波中的应用

摘要：

问题的提出
工件台是扫描光刻机核心分系统之一,具有水平向和垂向六自由度,在扫描曝光过程中,承载硅片或基板水平向高速运动,同时通过不断调整垂向位姿,使曝光区域的硅片或基板上表面总体上与物镜焦面重合.
硅片或基板表面形貌按空间分布,可分为整体面形和局部面形两部分.其中,整体面形可用线性表达式描述,反映的是面形的整体变化趋势;局部面形则较为复杂,包含不同的空间频率成分,从低频到高频均有分布.在光刻机扫描曝光过程中,扫描运动实现了表面形貌在空间域和时间域间的转换,将表面形貌的空间频率转换为时间频率,如式1所示:

机标关键词：滤波器、时间滤波、设定值、工件台

分类号：TN713;TB535.2;TP273

在线出版日期：2015-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：60-62