MEMS技术应用于加速度传感器高频继电器

摘要：

@@ 松下电工控制机器事业本部推出了采用MEMS技术的三款产品,分别是超小型MEMS高频继电器、面向车载用途的单轴加速度传感器、适用于小型数字设备的三轴加速度传感器.

机标关键词：加速度传感器、mems技术、继电器、技术应用

分类号：TN91

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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