应用MEMS技术,可以缩小传感器与探测器的体积

摘要：

@@ 有一家传感器制造商,已经开始应用MEMS技术,在芯片上制造气体探测器样品了.这家公司的专有技术,有可能将体积庞大,价格昂贵的气体与化学品探测器和仪器制作在硅芯片上;这样的探测器,不论从体积大小方面考虑,还是从价格成本方面考虑,都能满足商业化的要求.

机标关键词：mems技术、传感器、探测器

分类号：TP212;TN215;TN405

在线出版日期：2005-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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