永磁微型机器人制备及无缆驱动

摘要：

提出了一种新型钕铁硼永磁微机器人的制备方案及其“振动-黏滑”运动控制算法.介绍了基于MEMS(微机电系统)技术的图形化光刻法制备永磁微机器人的工艺流程.设计了运动控制驱动线圈系统,并确定了系统空间几何中心处2.5 cm见方的均匀磁场强度工作区域.介绍了用于线圈驱动的嵌入式系统的整体设计方案.建立了微机器人的运动模型,然后对“振动-黏滑”运动模式进行了数学仿真,通过实验验证了微机器人的直线2维运动.结果表明,上述无缆驱动微机器人可达10mm/s的平均直线运动速度.

关键词：MEMS、钕铁硼、微机器人、运动控制、交变磁场

所属期刊栏目：35

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61175100,51275285;中国博士后基金资助项目2012M510087

在线出版日期：2013-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：513-520