半球谐振子超精密修调方法研究

摘要：

目的 研究因谐振子质量缺陷而引起的频率裂解机制,进而对刚性轴位置进行质量高分辨率可控去除,提高陀螺精度.方法 首先基于多区域配合划分法建立半球谐振子高精度有限元仿真模型,分析质量大小与位置对谐振子频差的影响规律.其次搭建谐振子振动特性检测平台,利用拍频法实现其频差值和刚性轴位置的精确辨识.最后结合仿真与辨识结果以及离子束加工方法确定谐振子超精密修调方案.结果 优化网格划分方法后,谐振子有限元模型频差值小于 0.000 1 Hz,当修调定位误差相同时,在一个范围内的质量去除比单点质量去除的修调效率更高;谐振子质量缺陷四次谐波刚性轴位置辨识精度可达 0.1°,与常见的幅值法相比,其精度提高了一个数量级;通过三次点线结合方式进行质量修调后,谐振子频差值小于0.001 Hz,修调效率与精度得到了提升.结论 提出的谐振子仿真模型、振动特性测试方法以及离子束修调工艺精度较高且可行性较强,对实现半球谐振子性能高精度检测以及高质量加工具有重要意义.

关键词：半球谐振子、频差、超精密修调、刚性轴位置、离子束加工

所属期刊栏目：16

分类号：TH162

在线出版日期：2024-01-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：158-166