基于CORDIC算法的单频激光干涉信号处理系统半波长误差分析与消除

摘要：

为了满足纳米级分辨率和高速处理,设计了基于CORDIC算法的激光干涉信号处理系统.研究发现信号处理系统存在半波长大小的粗大误差.对该半波长误差的特点与形成机理进行了研究,研究表明该半波长误差的根源为小数相位测量存在一定的误差区间,在干涉信号相位零点附近,该误差区间导致小数相位处于[2π-,0+],具有不确定性;与整数相位结合时,可能产生半波长误差.在对半波长误差深入研究的基础上,给出修正表,提出了基于CORDIC算法相位补偿技术,以消除半波长粗大误差对激光干涉测量系统的影响.实验结果表明:在信号处理系统中,该相位补偿技术能够有效地消除半波长粗大误差,由CORDIC算法引入的总量化误差小于±0.05 nm.

关键词：计量学、激光干涉仪、CORDIC、半波长误差、近似误差

所属期刊栏目：42

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家重点研发计划资助2016YFF0200601

在线出版日期：2021-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：287-293