110 GHz可溯源的On-wafer GaAs基Multi-TRL校准标准件研制

摘要：

设计制作了用于1～ 110 GHz On-wafer散射参数测试系统自校准的GaAs基Multi-TRL校准标准件.主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1 GHz～ 110 GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准件的准确性.

关键词：计量学、共面波导、W波段、On-wafer、砷化镓、Multi-TRL校准件、散射参数

所属期刊栏目：40

分类号：TB973(计量学)

在线出版日期：2019-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：760-764