基于真空环境的位移传感器校准系统精度研究

摘要：

介绍了基于真空环境下位移传感器静态校准系统原理及其精度验证.传统的位移传感器校准装置和方法都在大气环境下进行,影响因素较多,测量精度也不易提高.该装置通过刚性传动装置,使真空中的位移与空气中的位移保持一致,由位移传感器测得空气中的位移值,由单频激光干涉仪通过迈克尔逊光学系统测得真空中的位移,两者之差,即是传感器的示值误差.最后,按照JJF 1305-2011的校准要求,对被测传感器进行了精度校准.

关键词：计量学、真空、位移传感器、校准、精度

所属期刊栏目：39

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家重点研发计划2018YFF0212702;北京信息科技大学2018年度实培计划项目

在线出版日期：2019-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-65