一种应用于激光干涉仪的等比例偏移定量准直装置

摘要：

设计一种用于激光干涉仪的等比例偏移定量调整的准直装置,利用该装置可以方便快捷、精准定量、一次性实现光路准直.实验表明:对于校准坐标测量机单轴6 m的定位误差,利用该装置调整准直光路的方法只需要调整一次,所用时间小于2 min.

关键词：计量学、激光干涉仪、等比例偏移、定量准直装置

所属期刊栏目：39

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2018-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：801-803