大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准的实验研究

摘要：

搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统,对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准进行实验研究.介绍了双频激光干涉仪测量系统的构成;编写了纳米位移台的控制程序和激光干涉仪数据采集程序;阐述了位移台的非线性校准方法,并通过实验对比了多项式三阶拟合和三阶分段拟合的差别,验证了校准方法的准确性.实验表明:使用三阶分段拟合的校准方法效果更好,校准前,x轴的最大非线性误差为4.052 μm,y轴的最大非线性误差为2.927 μm;校准后,x轴的最大非线性误差为15 nm,y轴的最大非线性误差为17 nm,仅为原始非线性误差的1％.

关键词：计量学、纳米位移台、非线性校准、激光干涉仪

所属期刊栏目：39

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家重点研发计划2016YFF0200602,2016YFA0200901;北京信息科技大学2017年-2018年度“实培计划”

在线出版日期：2018-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：771-776