基于电化学腐蚀法的钨探针制备装置研究

摘要：

基于电化学腐蚀法制备钨探针的原理,设计了一套钨探针制备装置,并对钨探针制备参数进行了研究.装置的实验部分用于调整探针与电解槽的相对位置和运动参数,控制部分用于监测、控制并记录电化学反应的状态.与传统腐蚀探针相比,该装置通过控制电路控制探针腐蚀过程中运动参数,获得了形状可控的大长径比探针;同时通过精确控制腐蚀反应时间,可制备针尖曲率半径范围为5 ～ 20 nm的探针.

关键词：计量学、钨探针、电化学腐蚀、长径比、曲率半径

所属期刊栏目：39

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家重点研发计划2016YFF0200602,2016YFF0200404

在线出版日期：2018-06-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：294-298