EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究

摘要：

基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置.分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程.提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无参考背景情况下的校准工作.基于该校准装置可对各类EL测试仪的分辨率参数进行校准,测量结果重复性较好.

关键词：计量学、EL红外缺陷测试仪、空间频率响应、分辨率、校准

所属期刊栏目：39

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家863计划2015AA050303;国家国际科技合作专项2015DFA60390;中国计量科学研究院自筹基本科研业务费23-AKY1712

在线出版日期：2018-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：246-250