计量型紫外显微镜实时焦点及倾角测量算法的研究

摘要：

计量型紫外光学显微镜采用248 nm深紫外光源和高数值孔径物镜系统,工作距离和景深均很小,为实现清晰的成像,需要进行自动聚焦.因此研究了一种焦点及倾角测量算法,采用基于图像处理的自动聚焦方法,选择Tenengrad函数作为图像清晰度判据,进行清晰度评价.针对在扫描测量时标准样板倾斜与镜片可能会出现相撞的问题,提出了样板倾角测量方法-判断样板的倾斜方向和角度,从而确定物镜执行器的移动方向,实现物镜扫描成像过程中的动态对焦.

关键词：计量学、紫外显微镜、自动聚焦、倾角测量算法、Tenengrad函数

所属期刊栏目：38

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2018-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：667-670