接触式表面轮廓测量的非线性误差分析与补偿

摘要：

测量触针随杠杆绕支点转动产生圆弧轨迹,其水平方向位移偏差会对大量程接触式表面轮廓测量形成误差.在改进传统测杆结构的基础上,建立了测量结果的非线性误差数学模型,推导出多项式拟合误差的补偿算法.提出了拟合标准球计算误差补偿参数的方法.通过对半径为79.505 3 mm的球冠测量,得到半径尺寸误差小于1 μm,实验证明了取得了较好的补偿效果.

关键词：计量学、接触式轮廓测量、非线性误差补偿、多项式拟合

所属期刊栏目：37

分类号：TB92(计量学)

资助基金：湖北省教育厅自然类重点科研项目D20132602

在线出版日期：2017-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：563-566