剪切压电陶瓷块微位移测量及非线性修正

摘要：

通过搭建的剪切压电陶瓷块微位移测量系统,进行了5个不同目标电压的剪切压电陶瓷微位移测量实验,对实验数据分别进行二阶、三阶、四阶最小二乘拟合后进行非线性修正实验,其中采用三阶最小二乘拟合进行修正时效果最好,其位移1050 nm行程时最大非线性误差为3nm.对所得三阶最小二乘拟合多项式的系数进行样条插值拟合,从而实现对不同目标位移的非线性修正,其中位移900 nm行程时最大非线性误差为4nm,仅为原始非线性误差的11％.

关键词：计量学、微位移测量、剪切压电陶瓷块、最小二乘拟合、样条插值拟合、非线性修正

所属期刊栏目：37

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2017-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：553-558