柱面面形干涉测量

摘要：

介绍了一种柱面面形干涉测量方法.该方法选用计算全息片作为柱面波转换器,能够将平面干涉仪出射的平面波转换成理想柱面波前,依此为基础,建立了柱面干涉测量系统,能够实现柱面的干涉测量.为了获得柱面的真实面形误差,分析了调整误差引起的失调像差,并给出了失调像差的分离方法.最后,以玻璃圆柱体为被测样本,对单孔径面形的重复性进行验证,20次测量结果峰谷值(PV)标准差为20.2 nm,为PV平均值的0.55％.

关键词：计量学、柱面面形、干涉、柱面波转换器、计算全息片、调整误差

所属期刊栏目：36

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金51175318;国家重大科技专项2013ZX04006011-217

在线出版日期：2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：460-463