纳米压痕仪的压头面积函数校准方法的比较研究

摘要：

基于原子力显微镜的直接测量法和通过熔融石英标准样块校准的间接测量法对纳米压痕仪的压头面积函数及机架柔度进行校准，并将这2种方法的校准结果分别应用到熔融石英和聚碳酸酯2种标准样块的压痕测试。压痕实验结果表明，在较浅压入深度，直接测量法测得的硬度值和折合模量值比间接方法测得的结果准确，在较大压入深度，2种方法的测量结果相差不大。

关键词：计量学、纳米压痕、原子力显微镜、压头面积函数、机架柔度

分类号：TB938.3(计量学)

资助基金：国家科技支撑计划2011BAK15B07

在线出版日期：2015-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：403-407