双探针原子力显微镜针尖对准方法研究

摘要：

双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜(AFM)的探针形状对关键尺寸(CD)测量的影响.测量前需要将两个探针针尖(A和B)接触到一起作为测量零点,为实现双探针纳米级对准,提出一种渐进式平面扫描方法.首先,通过视觉图像引导两个探针对准到1μm以内.然后,两个探针继续接近,同时探针A在YOZ平面内对探针B扫描成像,并逐步缩小扫描范围和扫描步进,得到其针尖的纳米级坐标(YB,ZB).最后,将探针A在Y和Z方向分别移动至YB和ZB,在X方向继续接近探针B直至两探针接触.实验证明,该方法可有效地实现双探针对准,且对准精度为10 nm.

关键词：计量学、双探针、原子力显微镜、对准方法、关键尺寸

所属期刊栏目：36

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家科技支撑计划2011BAK158B02

在线出版日期：2015-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5