单频激光干涉仪非线性误差优化方法研究

摘要：

为减小非线性误差对单频激光干涉仪测量精度及稳定性的影响,分析了引起其非线性误差的各种因素.利用琼斯矩阵推导出该系统光学参量的数学表达式.采用常规的优化调校方法提高系统精度会带来其它参数性能降低.提出改善单频激光干涉仪性能的最优控制优化调校方法.实验结果表明,采用该调校方法,使单频激光干涉仪信号的正交性、干涉条纹对比度和灵敏度均得到了一定程度的优化,干涉条纹对比度vimax,o可达到0.97,并且两路信号对1/8波片转角的4倍周期也变为2倍周期.

关键词：计量学、单频激光干涉仪、非线性误差、最优控制优化调校、干涉条纹对比度、灵敏度

所属期刊栏目：34

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家863高技术研究发展计划资助项目2007AA701203

在线出版日期：2013-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：122-127