平晶平面度测量方法的研究

摘要：

针对不同精度平晶的测量要求,介绍了3种平晶平面度的测量方法.阐述了比较测量的原理以及测量精度的局限性.对于高精度平晶的检测,介绍了2种绝对测量的方法.对这2种方法编制了模拟程序和数据处理程序,并进行了实验.不同方法的测试结果符合较好,面形评价数据在相同数量级上,验证了测试方法的可行性,实现了无参考面的高精度测量.

关键词：计量学、光学测量、平面度、Fritz三面互检法

所属期刊栏目：31

分类号：TB921(计量学)

在线出版日期：2012-02-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：204-207