长光栅测量系统误差修正方法

摘要：

针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长.提出的误差修正方法简单、实用、修正精度高.对于三坐标测量机、测长机等精密线位移平台都具有借鉴和参考价值.

关键词：计量学、长光栅、误差、修正方法、光电显微镜、激光波长、线纹尺

所属期刊栏目：31

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2012-02-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：187-190